Tunnel Actuator）

日立制作所下属的日立研究所日前利用定位精度非常高的直线驱动装置（隧道致动器，Tunnel Actuator）,在同类设备中实现了全球最高的40G加速度（重力加速度的40倍）。隧道致动器比原来的线性马达（Linear motor）更小，成本更低。今后将会有助于提高半导体制造设备及小型精密机床等设备的生产效率。该装置力争1～2年后达到实用水平。

过去，做为高速直线驱动装置使用的线性马达，从原理上讲装置体积庞大，而且必须要有很高的制作精度，因此存在生产成本高的问题。在这种情况下，人们一直希望能够开发出一种体积小且成本低、能够取代线性马达的直线驱动装置。

日立设计的隧道致动器结构简单，组装方便。可减轻由永久磁铁制成的原动机重量。此次通过减轻原动机重量，以及开发可承受加减速剧变的高速高精度控制系统，实现了世界上最高的加速度（40G），相当于线性马达的2～4倍。

通过将原动机配置于上部磁极冲片和下部磁极冲片之间，抵消了磁极引力。由此便简化了磁极缝隙的支撑结构，从而实现了小型化设计。由于是磁通量在上下磁极冲片之间进行传导的结构，因此即使采用多极结构，也不会泄漏磁通量，从而就可确保巨大的推动力。作为原动机上的永久磁铁，只需交替使用N极和S极即可轻松形成。与原来的线性马达不同，由于不需粘在铁板上，因此重量不到原来的1/5。即使采用多极结构，每极也只需要一个电枢绕组即可，因此就使得占生产成本一多半的绕线作业与导线处理更得非常简单，从而就能降低成本。

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